本文轉自：中國電子報
本報訊 記者谷月報導：近日，記者從浙江大學官網獲悉，該校研究團隊研發的微米和納米鈣鈦礦LED（micro-PeLED和nano-PeLED），突破LED尺寸新極限，達到90納米，這是目前已知最小圖元尺寸的LED，相關研究成果於英國當地時間3月19日發表於國際權威學術期刊《自然》。
據悉，該技術由浙江大學光電科學與工程學院/海寧國際聯合學院教授狄大衛和研究員趙保丹團隊共同研發，成果先進，其中最小LED尺寸僅為90納米的納米鈣鈦礦LED，為迄今為止公開報導的最小LED圖元。
“降尺度”在電子科學中特指縮小基本器件尺寸的過程，引領著計算機科學、信息顯示和人機交互等領域的技術革命。Micro LED就是一種“降尺度”的LED，通過縮小LED的尺寸，可實現超高清、超高精度的光電顯示。
狄大衛介紹，目前世界最先進的顯示技術是基於Ⅲ-Ⅴ族半導體的微型發光二極體，可實現超高清、超高精度的光電顯示。但受限於複雜的工藝技術，微型發光二極管制造成本極高，當圖元尺寸減小到約10微米或更小時，效率會急劇下降。
從Ⅲ-Ⅴ族半導體的微型發光二極體的微型化研究中獲得啟發，狄大衛團隊開始研製用於未來顯示技術的更小的鈣鈦礦LED，於2021年首次提出“微型鈣鈦礦LED”概念，並獲得國家與國際專利，但用傳統光刻工藝製造微型鈣鈦礦LED會破壞鈣鈦礦材料。
為此，研究團隊設計出一套局域接觸工藝，通過光刻製作的圖案化窗口確保圖元區域遠離電極邊緣，能夠製造圖元尺寸從數百微米到90納米的鈣鈦礦LED，同時保證了LED的發光效率。