புதிய திட-நிலை லேசர்கள் 193 நானோமீட்டர் ஒளியை உருவாக்க முடியும், இது துல்லியமான சிப் ஃபேப்ரிகேஷன் மற்றும் சுற்றுப்பாதை கோண உந்தத்துடன் சுழல் கற்றைகளில் கூட பயன்படுத்தப்படுகிறது - குவாண்டம் தொழில்நுட்பம் மற்றும் உற்பத்தியை மாற்றக்கூடிய முதல் வகையாகும். ஆழமான புற ஊதா (டி.யு.வி) லேசர்கள் மிகக் குறுகிய அலைநீளங்களுடன் உயர் ஆற்றல் ஒளியை வெளியிடுகின்றன மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, உயர் தெளிவுத்திறன் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி, துல்லியமான பொருட்கள் செயலாக்கம் மற்றும் குவாண்டம் தொழில்நுட்பம் ஆகியவற்றில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. ஆழமான புற ஊதா ஒளிக்கதிர்கள் பாரம்பரிய எக்ஸைமர் அல்லது வாயு வெளியேற்ற லேசர்களை விட சிறந்த ஒத்திசைவு மற்றும் குறைந்த மின் நுகர்வு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன, இது சிறிய, திறமையான அமைப்புகளை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது.

கச்சிதமான ஆழமான புற ஊதா திட-நிலை லேசர்கள் 193 nm அலைநீளத்தில் சுழல்களை உருவாக்குகின்றன. படம்: எச். ஜுவான் (விண்வெளி தகவல் ஆராய்ச்சி நிறுவனம், சீன அறிவியல் அகாடமி, கிரேட்டர் விரிகுடா பகுதி)

இல் வெளியிடப்பட்ட ஒரு சமீபத்திய ஆய்வில் மேம்பட்ட ஃபோட்டானிக்ஸ் நெக்ஸஸ், சீன அறிவியல் அகாடமியின் ஆராய்ச்சியாளர்கள் ஒரு பெரிய முன்னேற்றத்தை அறிவித்தனர்: 193 நானோமீட்டர் அலைநீளத்துடன் ஒத்திசைவான ஒளியை உருவாக்கக்கூடிய ஒரு சிறிய திட-நிலை லேசர் அமைப்பு. இந்த குறிப்பிட்ட அலைநீளம் லித்தோகிராஃபியில் ஒரு முக்கிய கருவியாகும், இது நவீன மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு அவசியமான சிலிக்கான் சில்லுகளில் சிறந்த வடிவங்களை பொறிக்க பயன்படுகிறது.

புதிய லேசர் அமைப்பு 880 kHz இன் மறுபடியும் விகிதத்தில் இயங்குகிறது மற்றும் 0 nm இல் ஒரு அடிப்படை லேசரை உருவாக்க தனிப்பயன் கட்டப்பட்ட Yb:YAG படிக பெருக்கியைப் பயன்படுத்துகிறது. லேசர் இரண்டு பாதைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: ஒன்று 0.0 வாட் வெளியீட்டு சக்தியுடன் நான்காம்-ஹார்மோனிக் தலைமுறையால் 0 என்எம் கற்றையாக மாற்றப்படுகிறது; மற்றொன்று 0 மில்லிவாட் சக்தியுடன் 0 என்எம் கற்றையை உருவாக்கும் ஆப்டிகல் பாராமெட்ரிக் பெருக்கிக்கு சக்தியை வழங்குகிறது. இரண்டு கற்றைகளும் பின்னர் அடுக்கு லித்தியம் ட்ரைபோரேட் (LBO) படிகங்களைப் பயன்படுத்தி ஒன்றிணைக்கப்பட்டு 0 mW சராசரி வெளியீட்டு சக்தி மற்றும் 0 MHz க்கும் குறைவான வரி அகலத்துடன் இலக்கு 0 nm ஒளியை உருவாக்குகின்றன.

ஆராய்ச்சியாளர்கள் கலப்பதற்கு முன்பு 193-நானோமீட்டர் கற்றையில் ஒரு ஹெலிகல் கட்ட தட்டை அறிமுகப்படுத்தினர், இதன் விளைவாக சுற்றுப்பாதை கோண உந்தத்தை சுமந்து செல்லும் ஒரு சுழல் கற்றை கிடைத்தது. திட-நிலை லேசரிலிருந்து 0nm சுழல் கற்றை உருவாக்கப்படுவது இதுவே முதல் முறையாகும். இந்த கற்றை கலப்பின ArF எக்ஸைமர் லேசர்களின் விதையாக இருக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது மற்றும் செதில் செயலாக்கம், குறைபாடு கண்டறிதல், குவாண்டம் தொடர்பு மற்றும் ஆப்டிகல் மைக்ரோ-வொர்க் ஆகியவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.

இந்த புதுமையான லேசர் அமைப்பு குறைக்கடத்தி லித்தோகிராபியின் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், மேம்பட்ட உற்பத்தி தொழில்நுட்பங்களுக்கான புதிய வழிகளையும் திறக்கிறது. 193 நானோமீட்டர் சுழல் கற்றைகளை உருவாக்கும் திறன் இந்த துறையில் மேலும் முன்னேற்றங்களுக்கு வழிவகுக்கும், மின்னணு சாதனங்கள் உற்பத்தி செய்யப்படும் விதத்தில் புரட்சியை ஏற்படுத்தும் திறன் கொண்டது.

編譯自/ScitechDaily