IT之家 3 月 27 日消息，在 SEMICON China 2025 展會期間，中微半導體設備（上海）股份有限公司（IT之家以下簡稱“中微公司”）宣佈其自主研發的 12 吋晶圓邊緣刻蝕設備 Primo Halona 正式發佈。

AMEC இன் கூற்றுப்படி, 12-அங்குல விளிம்பு பொறிப்பு உபகரணங்கள் Primo Halona அதன் சிறப்பியல்பு இரட்டை-உலை வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது மூன்று இரட்டை-உலை எதிர்வினை அறைகள் வரை நெகிழ்வாக கட்டமைக்க முடியும், மேலும் ஒவ்வொரு எதிர்வினை அறையும் ஒரே நேரத்தில் இரண்டு செதில்களை செயலாக்க முடியும், இது குறைந்த உற்பத்தி செலவுகளை உறுதி செய்யும் போது செதில் விளிம்பு பொறிப்பின் வெகுஜன உற்பத்தி தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும், இதனால் அதிக வெளியீட்டு அடர்த்தியை அடையவும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்.

கூடுதலாக, உபகரண குழி ஒரு குவாட்ரா-ஆர்ம் ரோபோடிக் கையுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது துல்லியமானது மற்றும் நெகிழ்வானது, மேலும் குழியின் உட்புறம் ஆலசன் வாயு அரிப்பை எதிர்க்க அரிப்பை எதிர்க்கும் பொருட்களுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உபகரணங்களின் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.

AMEC இன் கூற்றுப்படி, Primo Halona ஒரு தனித்துவமான சுய-சீரமைப்பு நிறுவல் வடிவமைப்பு தீர்வுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது மேல் மற்றும் கீழ் தட்டுகளின் சீரமைப்பு துல்லியம் மற்றும் இணையான தன்மையை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், அளவுத்திருத்த நிறுவலால் ஏற்படும் வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு நேரத்தை திறம்பட குறைக்கிறது, இதன் மூலம் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உதவுகிறது உற்பத்தி திறன் மற்றும் ஒல்லியான உற்பத்தி.

உபகரண நுண்ணறிவைப் பொறுத்தவரை, ப்ரிமோ ஹலோனா ஒரு விருப்பமான ஒருங்கிணைந்த அளவீட்டு தொகுதியை வழங்குகிறது, இதன் மூலம் வாடிக்கையாளர்கள் உள்ளூர் நிகழ்நேர திரைப்பட தடிமன் அளவீடு, ஒரு கிளிக் இழப்பீடு மற்றும் செதில் பரிமாற்றத்தின் அளவுத்திருத்தம் ஆகியவற்றை உணர முடியும், சிறந்த தயாரிப்பு பராமரிப்பை அடையலாம் மற்றும் பிற்கால பராமரிப்பின் செயல்திறனை பெரிதும் மேம்படுத்தலாம்.

சமீபத்தில், AMEC உலைகளுக்கு இடையிலான வாயு கட்டுப்பாட்டின் துல்லியத்தை தொடர்ந்து மேம்படுத்துவதன் மூலம், ICP இரட்டை உலை பொறிக்கும் இயந்திரம் ப்ரிமோ ட்வின்-ஸ்டார் ஒரு புதிய முன்னேற்றத்தை அடைந்துள்ளது, மேலும் உலைகளுக்கு இடையிலான பொறிக்கும் துல்லியம் 2.0A (துணை-ஆங்ஸ்ட்ரோம் நிலை) ஐ எட்டியுள்ளது.

據介紹，這一刻蝕精度在氧化矽、氮化矽和多晶矽等薄膜的刻蝕工藝上，均得到了驗證。該精度約等於矽原子直徑 2.5 埃的十分之一，是人類頭髮絲平均直徑 100 微米的 500 萬分之一。