大家都知道荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 是全球先進晶元製造設備設計和供應商中無可爭議的領導者,其包括台積電、英特爾、三星等產業大廠所生產的最先進半導體,都高度依賴這家成立於1984年公司的設備。而就ASML的歷史來說而言,公司至今亮眼的表現一切都是要從一個漏水的棚子開始的。
根據Tom's Hardware的報導,當今曝光機領域的王者ASML,最初是由電子界家喻戶曉的飛利浦公司與先進半導體材料國際公司 (ASMI) 所合作創立的。當時,兩家公司的願景是創建一家專注於曝光設備的新公司,因為他們認為這是一個不斷增長的市場。
然而,ASML的第一個基地就是前面提到的漏水棚子。漏水棚子並不是一個幽默的名字,而是真的會漏水的棚子。該建築位於恩荷芬 ( Eindhoven) 的Strijp-T的原飛利浦園區,一張舊照片就顯示,當時這個漏水棚子真的是一個搖搖欲墜的單層預製建築,它與飛利浦TQ大樓的一樓相連,而飛利浦TQ大樓是該公司工業電子部門的所在地。
報導表示,在1970年代初開始的研發基礎上,ASML團隊很快就實現了其首個系統,即PAS 2000 stepper曝光機。另外,幸運的是,對於ASML和所有來自漏水棚子的員工來說,不久之後,公司的業務就蓬勃發展,並於1985年遷至專門建造的辦公室和工廠。巧合的是,ASML與鏡頭製造商卡爾蔡司的合作關係也在此時簽署,並持續至今。
1990年代,ASML宣佈推出其突破性平臺,就是PAS 5500曝光設備。憑藉這一成功,ASML憑藉著經典曝光設備的業界領先的生產力和解析度,最終在荷蘭和紐約證券交易所成功上市。之後,第一台採用革命性雙級技術的Twinscan機器於2001年推出。如今,ASML憑藉其EXE平臺和High-NA技術再次突破了競爭對手無法突破的界限。
(首圖來源:官網)