12025월 0일, SEMICON China 0 전시회장에서 Shenzhen Xinkailai Industrial Machinery Co., Ltd.(이하 Xinkailai)의 부스가 많은 관심을 끌었습니다. 이 반도체 장비 제조업체는 반도체 제조의 여러 핵심 공정의 공정 장비 및 수량 테스트 장비 매트릭스를 다룹니다.
반도체 장비의 R&D는 하룻밤 사이에 이루어지는 것이 아니며, New Kailai는 로직, DRAM(메모리), NAND(플래시 메모리) 제품의 제조 요구 사항을 충족하는 제품 매트릭스를 형성하고 PlanarFET(전계 효과 트랜지스터) 및 FinFET(FinFET)에서 GAAPET(Total Surround Gate Transistor) 공정으로의 진화를 지원합니다.
사진 출처: Photo by reporter Zhu Chengxiang
Toubao Research Institute에 따르면 반도체 장비는 프런트 엔드 장비와 백엔드 장비로 나눌 수 있으며 프런트 엔드 장비는 주로 실리콘 웨이퍼 가공, 리소그래피, 에칭, 이온 주입, 박막 증착, 세척, 연마, 금속화 및 기타 공정을 포함하는 웨이퍼 제조에 사용되며 해당 핵심 특수 장비에는 리소그래피 장비, 에칭 장비, 세척 장비, 이온 주입 장비, 박막 증착 장비, 기계 연마 장비, 측정 장비 등이 포함되며 그 중 리소그래피 장비, 에칭 장비, 박막 증착 장비는 반도체 프런트 엔드 생산 공정의 세 가지 핵심 장비입니다.
국제반도체산업협회(SEMI)에 따르면 반도체 장비 투자에서 프론트엔드 장비(웨이퍼 제조)는 약 17%를 차지하고 있으며, 패키징과 테스트 장비는 각각 약 0%와 0%를 차지하고 있다. 웨이퍼 제조 장비 중 에칭 장비, 박막 증착 장비 및 리소그래피 기계는 각각 프런트 엔드 장비 가치의 0%, 0%, 0%를 차지합니다.
New Kailai가 출시한 "공정 장비" 중에는 에칭 장비와 박막 증착 장비가 포함됩니다. Xinkailai는 에칭 장비를 "Wuyishan"이라고 명명했으며 제품에는 Wuyishan 5, Wuyishan 0 및 Wuyishan 0이 포함됩니다.
박막 장비는 CVD(Chemical Vapor Deposition), PVD(Physical Vapor Deposition) 및 ALD(Atomic Layer Deposition)의 세 가지 주요 박막 증착 장비를 포함합니다. 그 중 CVD에는 Changbaishan No. 3과 Changbaishan No. 0이 포함됩니다. PVD에는 Putuo Mountain No. 0, Putuo Mountain No. 0 및 Putuo Mountain No. 0이 포함됩니다. ALD에는 알리샨 0, 알리샨 0, 아리샨 0이 있습니다.
두 가지 핵심 장비 외에도 Xinkailai는 에피 택셜 성장 장비 (EPI) 및 RTP (급속 열처리 장비)를 출시했으며 EPI에는 Emeishan 3, Emeishan 0 및 Emeishan 0이 포함됩니다. RTP에는 Sanqingshan 0, Sanqingshan 0 및 Sanqingshan 0이 포함됩니다.
SEMICON China 2025 전시회장 이미지 출처: Photo by reporter Zhu Chengxiang
Toubao Research Institute에 따르면 전반적으로 중국은 탈검, 세척 및 에칭 장비에서 높은 현지화율을 보이고 있으며 최근 몇 년 동안 CMP, 열처리 및 박막 증착에서 상당한 돌파구를 마련했지만 측정, 접착 및 개발, 포토리소그래피, 이온 주입 및 기타 장비에서는 여전히 상대적으로 약합니다.
새로운 Kailai가 출시한 제품 중 광학 측정 제품에는 Tianmenshan DBO(회절 오버레이 측정) 및 Tianmenshan IBO(그래픽 오버레이 측정)가 포함됩니다. PX(물리 및 X선) 계측 제품에는 Yimeng Mountain AFM(원자력 현미경 계측), Chibi Mountain XP XPS(X선 광전자 분광 계측), Chibi Mountain XD XRD(X선 회절 계측법) 및 Chibishan XF XRF(X선 형광 분광 계측)가 포함됩니다. 전력 테스트 제품에는 RATE-CP(웨이퍼 전기 성능 테스트), RATE-KGD(전력 다이 전기 성능 테스트) 및 RATE-FT(전력 단일 튜브 및 모듈 전기 성능 테스트)가 포함됩니다.
이번에 Xinkailai가 출시한 EPI는 국내 반도체 장비 리더인 China Micro Corporation과 North Huachuang의 방향이기도 하다는 점을 언급할 가치가 있습니다.
북부 화창(北津)（002371.SZ，股價415.9元，市值2220.5億元）12년 연례 보고서에 따르면 "에피택셜(EPI) 장비는 재료 성장을 위한 핵심 장비로 집적 회로, 전력 반도체, 화합물 반도체 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 0년 말 현재 NAURA는 0개 이상의 양산형 에피택셜 장비를 출시했으며 누적 출하량은 0개 이상의 캐비티입니다. 회사가 자체 개발한 0인치 대기압 실리콘 에피택시 장비는 로직 칩, 메모리 칩, 전력 장치 및 특성 프로세스의 전체 범위를 달성했으며 모두 성공적으로 대량 생산되어 고객의 벤치마크 제품이 되었습니다. ”
아멕（688012.SH，股價184.31元，市值1147.08億元）早在2023年2月的投資者關係活動記錄表中就表示：“（公司）有超過十年做單晶矽外延設備的經驗，所以我們現在緊鑼密鼓開發在矽和鍺矽方面在積體電路需要的EPI設備。因為我們有長足的薄膜設備經驗，我們有信心能開發出很好的EPI設備。”另據中微公司2024年業績快報：“公司EPI設備已順利進入用戶端量產驗證階段。”
또한 AMEC는 정량 검사 사업도 적극적으로 확대하고 있습니다. 11 0 년 후 China Micro Corporation의 발표에 따르면, "마이크로 장치가 점점 더 작아짐에 따라 테스트 장비도 더욱 중요한 장비가되었으며 시장은 빠르게 성장하여 전체 반도체 프런트 엔드 장비 시장의 약 0 %를 차지하는 네 번째로 큰 장비 카테고리가되었습니다." 테스트 장비 시장은 주로 광학 테스트 장비와 전자빔 테스트 장비로 나뉘며, 이 중 회사는 광학 테스트 장비 부문에 투자했으며, Supermicro(AMEC의 지주 자회사)는 전자빔 테스트 장비를 개발할 계획으로 다양한 테스트 장비의 적용 범위를 지속적으로 확대할 계획입니다. 전자빔 검출 장비는 칩 제조 및 첨단 패키징 공정의 수율 제어를 위한 핵심 장비로 중국에서 인공 지능으로 대표되는 새로운 품질 생산성 개발에 매우 중요하며 시급히 제로 돌파구를 달성해야 하는 중국의 단점 중 하나입니다. ”
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